FA・フィルム製造加工設備、精密鋳造品
研磨装置、精密研磨
FPDや半導体・電子部品などの研磨プロセスにおいて、最適なシステムを提供します。
ガラス基板の大型化に合わせて大型研磨装置を設計・製造しています。
主なサービス・製品
大型研磨機（バッチ式）
フォトマスクやガラス基板等の研磨用に、ラッピングやポリッシング等の用途に合わせて最大G10サイズまでの装置を設計・製作します。
大型連続式研磨機
大型基板を研磨し表面平坦化を行います。基板を連続的に処理できるため、生産ラインに組込みことが可能であり生産効率のアップを図れます。
研磨洗浄システム
洗浄・乾燥等の研磨装置の前後工程を含めて、一貫したシステムを設計・製作します。
関連技術
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