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有機EL製造装置

Hitz日立造船の有機EL製造装置は、複数ノズル方式を採用した面蒸発源により、高生産性と高材料利用効率を実現します。静止成膜方式、基板移動型の移動成膜方式の両方に対応可能で、大型基板への成膜も可能です。
また、有機ELデバイスの試作や材料開発用として、さまざまな蒸着装置の提案・設計・製造も行っています。
単独蒸着室だけの小型装置から、複数の蒸着室、搬送室等で構成するクラスター型の大型装置、フレキシブル基板対応のRTR装置まで、さまざまなタイプの装置を提供します。

主な製品

有機EL用面蒸着装置(静止成膜)

特長

  • 基板の回転・揺動なしに優れた膜厚分布を実現
    (膜厚均一性:≦±3% ±1%も設計可能)
  • 高い材料利用効率
    (材料利用効率:≧60% G6基板の場合)
  • バルブ制御により、優れた蒸着レート安定性と可変コントロールを実現します。
    (蒸着レート:10A/sec±1%)
  • 基板交換中など非蒸着時は、バルブを締め切ることで材料のロスを防止します。
  • チャンバ内動作部を最小限にし、パーティクル発生をミニマイズします。
  • 稼動中に有機材料の交換が可能な、るつぼ交換機構を搭載できます。
    (長時間連続運転対応、有機材料劣化防止)
  • 蒸着方向の向きを選びません。
    (サイドデポ、ダウンデポ適用可)
  • 大型基板対応が可能です。(G8まで)

有機EL用面蒸着装置(移動成膜)

特長

  • 面蒸発源を転用したリニアソースを搭載し、バルブ制御により、安定した蒸着レート、高膜厚均一性を達成します。
  • 高い材料利用効率
    (材料利用効率:≧60% 300mm幅の場合)
  • 基板交換中など非蒸着時は、バルブを締め切ることで材料のロスを防止します。
  • 段重ねマニホールド採用により、材料利用効率を低下させることなく、共蒸着時の
    ホスト・ドーパント混合比率を一定化します。
  • QCMを使用せず、Hitz独自の膜厚センサーを搭載し長時間稼働に対応します。

有機EL蒸着装置(R&D)

特長

実験効率の向上
1バッチ処理で基板上に、「有機材料を替えるパターン」と「膜厚の違うパターン」を形成出来る機構
蒸発源の多様化
有機材料の蒸発源には、抵抗加熱式小型るつぼを採用し、コンパクト化を図り共蒸着時の基板への混入のバランスを配慮
基板の低温対策
基板ホルダ内部に水冷構造を組み込んだ機構を用意しておりますので、
基板の温度を低く保持
膜厚分布の平滑化
基板の回転機構を用意しておりますので面内の膜厚分布の平滑化に有利
基板とマスクの密着
基板のセット方法とマスクの形状を工夫する事で、可能な限りマスクと基板を密着してセット
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