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真空装置・真空機器

Hitz日立造船は、FPD、半導体・電子部品および太陽電池関連分野において、研究開発用から量産用までの各種真空装置(蒸着装置・スパッタ装置など)を設計・製造しています。また、各種真空装置およびロール to ロール連続成膜装置によりサンプル成膜を提供し、お客様に最適な装置を提案します。

主な製品

蒸着装置

有機材料や金属材料を蒸発させ成膜する装置です。蒸発源は抵抗加熱、EB、セルなどを使用し、基板回転機構や材料供給機構などお客様の用途に合わせ設計・製造します。

スパッタ装置

マグネトロンスパッタ、対向式スパッタをご用意しております。社内には実験用のスパッタ装置を設置しています。

  • サンプル成膜対応可能
    • 対向式スパッタ    : 50×50 バッチ式
    • マグネトロンスパッタ : 100×100 バッチ式

ロール to ロール成膜装置

成膜方式として、スパッタ・蒸着に対応し、各種成膜源として自社開発の高効率スパッタ用カソード、EB蒸着源を搭載しております。

低ダメージEB装置

有機膜、フレキシブル基板、TFT基板上等への無機材料の高速、低温、低ダメージ成膜ニーズ対応しています。
サンプル成膜も対応可能です。

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製品紹介