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有機EL製造装置
Hitz日立造船の有機EL製造装置は、マルチアパーチャー方式を採用した面蒸発源により、高生産性と高材料利用効率を実現します。静止成膜方式であるため、大型基板対応も可能です。また、有機ＥＬデバイスの試作や材料開発用として、さまざまな蒸着装置の提案・設計・製造も行っています。単独蒸着室だけの小型装置から、複数の蒸着室、搬送室等で構成するクラスター型の大型装置まで、さまざまなタイプを提供できます。
主力製品
有機ＥＬ用面蒸着装置
特長
- 基板の回転・揺動なしに優れた膜厚分布を実現（膜厚均一性：≦±3％ ±1％も可能）
- 高い材料利用効率（材料利用効率：≧20％）
- バルブ制御による優れた蒸着レート安定性と可変コントロールの実現（蒸着レート：10A/sec±1％）
- 独自のシャッタ機構により、パーティクル・クロスコンタミ発生をミニマイズ
- 稼動中に有機材料の交換が可能なるつぼ交換機構を搭載
- 蒸着方向の向きを選ばない（サイドデポ、ダウンデポ適用可）
有機ＥＬ蒸着装置（Ｒ&Ｄ）
特長
- 実験効率の向上
1度の蒸着時に基板上に、「有機材料を替えるパターン」と「膜厚の違うパターン」を形成出来る機構 - 蒸発源の多様化
有機材料の蒸発源には、小型坩堝（抵抗加熱）を採用し、コンパクト化を図り共蒸着時の基板への混入のバランスを配慮 - 基板の低温対策
基板ホルダ内部に水冷構造を組み込んだ機構を用意しておりますので、基板の温度を低く保持 - 膜厚分布の平滑化
基板の回転機構を用意しておりますので面内の膜厚分布の平滑化に有利 - 基板とマスクの密着
基板のセット方法とマスクの形状を工夫する事で、可能な限りマスクと基板を密着してセット - スライド式搬送機構
フットプリントを小さくし、取り回しを改善するため、スライド式搬送機構を採用
